【摘要】
第一步是用激光研磨加工微通道,以及鉆通孔加工進(jìn)/出端口。上圖顯示了加工的微通道在放大鏡下的細節。
一、微流體芯片
這個(gè)案例是快速制作微流體芯片,基材是PC板。加工工藝過(guò)程分為兩步。
第一步是用激光研磨加工微通道,以及鉆通孔加工進(jìn)/出端口。上圖顯示了加工的微通道在放大鏡下的細節。第二步是將兩個(gè)PC板用激光焊接在一起。上層部件是透明PC件,其上用激光加工了進(jìn)出通孔;下層部件是著(zhù)色PC件,用激光研磨出了微通道。通過(guò)該工藝制作出的微流體芯片,完全滿(mǎn)足壓力和密封測試要求。
二、 微電子技術(shù)
這個(gè)案例是手機元器件上精密元件的激光焊接。
采用了紅外激光和一些專(zhuān)門(mén)夾具,讓激光束透過(guò)上層視窗傳輸到下層塑料框架上。黑色塑料吸收紅外激光,形成一個(gè)很好的熔池,并與上層視窗融合。
焊縫寬度只有300um(0.3mm)。焊接強度大于本體材料結構,即拉拔力破壞試驗中,破裂位置在材料本體結構上。
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