激光打微孔概述：

在元件上開(kāi)一個(gè)小孔是很常見(jiàn)的。但如果要求用硬材料，如在硬質(zhì)合金上打出多達0.1毫米至幾微米直徑的小孔，則用普通的機械加工工具加工并不容易，即使可以，加工成本也會(huì )很高?，F有的機械加工技術(shù)在材料上打小孔是用每分鐘幾萬(wàn)轉或幾十萬(wàn)轉的高速旋轉小鉆加工的。這種方法一般只能加工孔徑大于0.25mm的小孔。今天的工業(yè)生產(chǎn)往往要求加工直徑小于這個(gè)小孔。例如，在電子工業(yè)生產(chǎn)中，多層印制電路板的生產(chǎn)需要在板材上鉆出數千個(gè)直徑約0.1~0.3毫米的孔洞。很明顯，用剛才提到的鉆頭加工，難度較大，加工質(zhì)量難以保證，而且加工成本不低。早在20世紀60年代以后，科學(xué)家就在實(shí)驗室用激光在鋼刀片上開(kāi)一個(gè)小孔，經(jīng)過(guò)近30.3mm的小孔，經(jīng)過(guò)近30秒的改進(jìn)和開(kāi)發(fā)，沒(méi)有一個(gè)小孔。

使用激光在物料上鉆孔的道理很簡(jiǎn)單（激光打孔），實(shí)踐起來(lái)也不復雜。

激光器具有良好的相干性，利用光學(xué)系統可將其聚焦成直徑非常小的光點(diǎn)（小于1微米），相當于用于鉆孔的“微型鉆頭”。第二，激光的亮度非常高，在焦點(diǎn)上的激光能量密度(平均每平方厘米面積的能量)會(huì )非常高，一般一臺激光器輸出的激光，所產(chǎn)生的能量可達109焦耳/厘米2，足能使材料熔化汽化，在材料上留下一個(gè)小孔，就像用鉆頭鉆出來(lái)一樣。

如何使用好激光“鉆頭”，激光科學(xué)工作者也做了很多研究工作。研究人員發(fā)現，用每秒發(fā)射多個(gè)光脈沖（通常稱(chēng)為高重復率激光脈沖）作為“鉆頭”，打出的小孔質(zhì)量?jì)?yōu)于用單個(gè)光脈沖，或者用每秒發(fā)射少數光脈沖的小孔質(zhì)量?？赡苁沁@樣的：當用每秒一個(gè)光脈沖或少數幾個(gè)脈沖打孔時(shí)，對每個(gè)光脈沖的激光能量要求較高，使材料能夠被加熱到熔化后才能打出孔。但熔融的材料不能完全汽化，而是將附近的材料加熱并使其汽化，因此，被打出的小孔在形狀大小上并不那么整齊。若采用高重復率激光輸出的光脈沖，此時(shí)每一個(gè)光脈沖的平均能量并不高，但由于光脈沖的寬度狹窄，功率水平也不低。因此，每一個(gè)激光脈沖在材料上形成的熔融體并不多，主要是發(fā)生汽化。因為使小孔附近的材料加熱時(shí)，熔融的材料也不會(huì )出現單脈沖形成。

為了提高打孔的質(zhì)量，還需要注意激光焦點(diǎn)位置的選擇。選取聚焦位置的原則大致如下：對于較厚的材質(zhì)，激光束聚焦位置應該在工件內部。如果材料較薄，激光束的焦點(diǎn)應放置在工件表面上方。這種安排將使打孔的上下尺寸基本一致，不會(huì )出現“桶狀”的孔。

采用激光在材料上打磨，不僅打磨質(zhì)量好，尤其是打磨相同數量的小孔時(shí)，還可以保證多個(gè)小孔尺寸一致，打磨速度快，生產(chǎn)效率高。所以，除了在電子工業(yè)生產(chǎn)中使用激光打孔外，許多其他工業(yè)生產(chǎn)部門(mén)也在使用激光打孔，如普通卷煙過(guò)濾嘴上的小孔、噴氣式氣門(mén)上的小孔，以及激光加工。噴霧罐和瓶頸都有一種用于控制壓縮物質(zhì)（如除臭劑、油料或其它液體）的流量，閥門(mén)的使用性能取決于噴霧器上的這個(gè)小孔。這個(gè)小孔的直徑是10-40微米，用其它機械加工方法做得不好，用激光加工，既能保證質(zhì)量，又能保證速度。