【摘要】
自紫外激光出現以來(lái)，準分子激光光器在紫外線(xiàn)“冷加工”應用領(lǐng)域占主導地位，但是，準分子技術(shù)也存在著(zhù)很多缺陷：所有的準分子激光均含有有毒氣體，特殊氣體的更換、貯存、調節過(guò)程十分繁瑣。同時(shí)，它們體積大，價(jià)格昂貴，操作和維護成本高；
自紫外激光出現以來(lái)，準分子激光光器在紫外線(xiàn)“冷加工”應用領(lǐng)域占主導地位，
但是，準分子技術(shù)也存在著(zhù)很多缺陷：所有的準分子激光均含有有毒氣體，特殊氣體的更換、貯存、調節過(guò)程十分繁瑣。
同時(shí)，它們體積大，價(jià)格昂貴，操作和維護成本高；
不但如此，準分子激光輸出端還存在著(zhù)方矩形大、空間質(zhì)量差等問(wèn)題，嚴重地限制了光束的聚焦，因而必須采用掩模模板。
準分子激光器對于一步鉆出相同形狀的孔和重復性(如加工噴墨打印機磁鼓噴嘴上的孔)有很好的工作，但一般來(lái)說(shuō)效率不高，只有1%的脈沖能作用于加工表面，而其他約99%的光能在模板上流失。
另外，掩模法的靈活性有限，如果圖形變化需要更換掩模板，整個(gè)加工過(guò)程必須停止。
固體紫外激光器的應用一直受到輸出功率不足的限制，不能滿(mǎn)足加工需要。
隨著(zhù)更可靠的半導體泵固體技術(shù)和更可靠的三倍頻機制的發(fā)展，情況發(fā)生了變化。
新的三倍頻半導體泵固體激光成為準分子激光的競爭對手，能量密度水平相當，但重復頻率更高，光束質(zhì)量更好。
良好的光束質(zhì)量和卓越的聚焦能力使您能夠擺脫掩模板進(jìn)行加工。光束通過(guò)計算機控制的掃描振動(dòng)鏡系統傳輸到工作臺的任何位置），并使用CAD/CAM軟件通過(guò)直接雕刻進(jìn)行鉆孔、刻線(xiàn)或切割。
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