【摘要】
激光劃線(xiàn)包括許多術(shù)語(yǔ)，包括微劃線(xiàn)和薄膜劃線(xiàn)，用于創(chuàng )建精確控制的精細凹槽或將細線(xiàn)寫(xiě)入薄膜和涂層。激光能量可以通過(guò)以下兩種方式之一施加到材料上，或者聚焦到一個(gè)小點(diǎn)并在表面上掃描，或者通過(guò)掩模成像以將圖案投影到表面上。
激光劃線(xiàn)和薄膜劃線(xiàn)非常適合在各種基材、薄膜和涂層上創(chuàng )建細線(xiàn)和其他盲特征和圖案。
激光劃線(xiàn)包括許多術(shù)語(yǔ)，包括微劃線(xiàn)和薄膜劃線(xiàn)，用于創(chuàng )建精確控制的精細凹槽或將細線(xiàn)寫(xiě)入薄膜和涂層。激光能量可以通過(guò)以下兩種方式之一施加到材料上，或者聚焦到一個(gè)小點(diǎn)并在表面上掃描，或者通過(guò)掩模成像以將圖案投影到表面上。激光劃線(xiàn)的使用允許在材料表面和通過(guò)去除多層基板中的一層或多層來(lái)非常精確地寫(xiě)入精細特征。
通過(guò)使用精密激光加工，可以選擇性地瞄準薄膜器件（如電容器和電池）中的各個(gè)層，從而創(chuàng )建高度通用的圖案化工藝?？梢哉{整激光工藝以從另一層或從下面的襯底去除一個(gè)沉積層，這對于薄膜電容器生產(chǎn)中的隔離劃線(xiàn)處理至關(guān)重要。通過(guò)仔細選擇激光類(lèi)型和工藝參數，幾乎可以對任何材料進(jìn)行刻劃，包括高反射性或透明材料。
大多數材料都可以實(shí)現精確控制結構的激光劃線(xiàn)和選擇性層處理，包括透明基板上的透明涂層，例如用于顯示器和光伏行業(yè)的那些。選擇性激光加工還允許去除金屬層和涂層，而對下面的基材進(jìn)行很少或不進(jìn)行加工?？梢跃帉?xiě)非常細的線(xiàn)條來(lái)創(chuàng )建高密度電路和功能或裝飾圖案?？梢詫θ嵝院蛣傂圆牧仙系谋⊙趸瘜舆M(jìn)行激光刻劃，以確定導電和非導電區域。
薄膜激光劃線(xiàn)也可用于修改涂層材料的功能特性，例如修改電阻或反射率。
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